現(xiàn)場安裝了高效過濾器后，泄漏檢測是為了確認高效過濾器和配套的安裝靜壓箱，在規(guī)定的允許范圍內(nèi)未發(fā)現(xiàn)泄漏或痕量泄漏。如果高效過濾裝置在檢漏后合格，則可以確保潔凈室的安全可靠運行。在這種情況下，室內(nèi)清潔度仍未達到標準，應從無塵室的其他方面找出原因。

　　安裝后對高效過濾器的泄漏檢測與工廠中過濾器制造商的效率測試不同。后者僅測試過濾器的效率和其他相關性能，而前者涉及高效過濾器的泄漏以及與安裝過程相關的各種因素。

　　在檢漏期間，從高效過濾器的上風側引入氣霧劑，同時，在高效過濾器的下風側進行掃描以進行泄漏檢測，以泄漏高效過濾器介質(zhì)過濾器，密封劑過濾器框架，密封墊等。是否有泄漏。

　　在檢測中，如果室內(nèi)干擾因素過多，為了消除干擾，可以在出風口出風口增設一個隔離罩，并在罩內(nèi)進行檢測，以使檢測數(shù)據(jù)更加準確。 特別要注意的是，過濾器和安裝框架之間的泄漏檢測可以沿著安裝框架進行，也可以在出風箱的部分進行泄漏檢測，但是應消除夾帶氣流的干擾，并且應該避免使用盒子。

　　灰塵堆積在上表面的干擾，特別是采樣端口不能接觸高效風口盒或過濾器的框架。 在高效過濾器的上風側進行DOP泄漏檢測時，必須在高效過濾器的上風側安裝DOP導入裝置和濃度檢測管。這兩個管也可用于檢測濾波器的電阻。

　　概論：

　　(1)高效過濾器安裝以后必須要進行檢漏;

　　(2)要計算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風量，確定DOP 導入地點;

　　(3)要測量高效過濾器上游的粒子濃度;

　　(4)根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標準來確定 K 值;

　　(5)采用 28.3 L/min 的粒子計數(shù)器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計數(shù)器，必須控制掃描速度。